露点范围达到 -30~50℃  

湿气流量范围：0-500L/min

控制湿度范围 0~95%可调               

湿度精度+/-1.5%          

温度范围：-20~80℃                       

温度精度+/-0.1℃     

自带管路伴热功能

本公司湿度发生器是利用高精度恒流泵定量供给液体水，通过控制液态水相变，气态

水蒸气 与干路载气混合形成恒定浓度的湿气,再通过恒定温度控制形成不同温度下的

相对或绝对湿气。

储罐中的去离子水，通过精密恒流泵加入精密蒸发器中，去离子水的流量连续可调，

精密蒸发器将液态水100%蒸发，并且保证蒸汽流量波动小于±1%，通过载气泵向设

备主体内吸入空气到汽化器内将汽化后的原液与空气混合。

• 自主研发的可蒸发相变技术

此技术提供成分浓度稳定（波动小于±1%）且可连续调控的所需气体。特殊气化结构，大幅抑制汽化不均匀而导致的脉动。

• 自主研发气化模块
  

此模块小巧，完全避免了传统加热炉汽化电转化效率低、不稳定、不完全汽化等问题。

• 自主研发无死体积进样技术

由于系统中传输通道的存在，现有测试中均存在“死体积”现象，有一部分残留在传输通道中，导致发生总量出现偏差。“死体积”是目前测试行业中未得到很好解决的一个难题。

本公司自研无死体积进样技术，在不影响传输通道设计的前提下，通过辅助进样实现全部流体进样完全、无残留。

快速响应，操作简单

微通道液膜结构

湿度平稳连续，波动小且精确度高

A级温湿度传感器，可选配国产和进口

内部器件材质SUS304/316L，耐高温耐腐蚀

进样完全湿，无残留

湿气出口采用加热保温装置，不冷凝，出气稳定

PID智能控温，运行状态直观显示

进液流量、温度等参数可设置，流量/温度精确可控

可支持实时在线数据的读取与保存

可集联与远程 

寿命长，正常使用5年以上，过程中无任何易损耗材需更换

可按需求定制

• 一体压铸微通道汽化器  

微通道结构换热效果更快,能快速补充相变所需热量，液体进入通道能快速形成纳米

液膜气化波动小。

• 质量流量计控制流量 （按需选配） 

流量控制精度达到1.5%，较传统的转子流量计精度(+/-5%以上)高出很多，确保混合

气体输出浓度波动小，精度高。

• PLC人机交互界面

界面分为三个区:参数设置区、实时曲线区、实时数据显示区，在高级参数设置中，

气体流量、汽化温度、预热温度进行设置，同时可以观察输出变化。

• 精密恒流泵

精密恒流泵精度达±1%，压力可达到0.3Mpa,确保水蒸气输出浓度波动小、精度高；各种连接方式，易于安装与使用；

输出方式灵活，既可以通过通迅接口主动上传数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压；

可记录自上电以来瞬时流量的最大值和最小值，具有超量功能；

全量程高稳定性，高精度和优良的重复性。

• A级温湿度传感器(可选配国产or进口）

中科院长春光机所

国科大

博世汽车

清华大学

蓝盾光电 

上海大学

华南理工大学