亿科过程控制技术（苏州）有限公司（以下简称亿科）旗下ppb超低浓度水蒸气发生器，以纳米级控制技术，重塑实验室精密环境新标杆！ppb超低浓度水蒸气发生器搭载高精度传感器和智能控温算法，可实现液态蒸发量0.0005-1ml/min，流量精度±1%的精准输出，为半导体光刻工艺校准、航天材料耐候性测试、医疗设备微环境模拟等前沿领域提供超净可控的科研基石，赋能高精度实验数据获取与创新效率跃升。

亿科ppb超低浓度水蒸气发生器采用特殊算法，精确控制汽化进口的水流量和汽化过程中功率、液位、压力、温度等，最终达到对出口蒸汽的调节，精密控制精度，蒸发量精准可调。搭配特殊汽化结构，大幅抑制汽化不均匀而产生的脉动，汽化过程稳定，成分均匀。

ppb超低浓度水蒸气发生器通过精密计量泵控制进液量，经相变汽化模块将液体分散成液膜再换热转化为水蒸气，稳定的将一路液体蒸发。搭配自主研发的相变汽化模块，蒸发混合稳定并有非常宽的蒸发范围。

亿科ppb超低浓度水蒸气发生器的应用非常广泛，可用于半导体制造、仪器校准、空间环境模拟、医疗设备研发等。

1、 半导体制造：用于光刻机镜头环境控制（湿度<10 ppb），防止透镜表面水膜形成导致的成像畸变。

2、 仪器校准：为露点仪、湿度传感器提供ppb级标准气源（如Michell校准实验室采用动态混合法发生器）。

3、 空间环境模拟：模拟近地轨道（LEO）极低湿度条件（<1 ppb），测试卫星材料抗水解性能。

4、 医疗设备研发：呼吸机、麻醉机中微量水蒸气控制，避免气道黏膜干燥（目标湿度50–100 ppb）。

亿科ppb超低浓度水蒸气发生器是精密环境控制领域的隐形冠军，其技术突破将直接推动高端制造与科学研究的边界拓展。随着材料科学与控制算法的进步，未来有望在更低成本下实现亚ppb级湿度控制，为纳米级工艺及深孔探测提供关键支持。