分流法湿度发生器通过精确控制干湿气体混合比例生成目标湿度，其核心系统包括以下模块：

1、 气源处理系统

干燥气源模块：采用无油空压机或高压气瓶提供洁净干燥气体（如氮气或压缩空气），经过高效过滤器、分子筛吸附器等去除水分、油分及颗粒物，确保气源露点低于-70℃。

湿气生成模块：通过饱和器（如恒温水浴饱和塔）产生饱和湿气。水浴温度精密控制（通常为0~100℃），气体流经饱和器后携带最大湿度（100%RH）。

2、 分流控制系统

质量流量控制器（MFC）：核心部件之一，通过高精度传感器与电磁阀调节干、湿两路气体的流量比例。例如，若需生成30%RH湿度，则干气与湿气流量按7:3比例混合。

比例调节阀：支持动态调节分流比，确保在宽湿度范围（5%~95%RH）内输出稳定性误差≤±1%RH。

3、 混合与温控系统

气体混合室：采用涡流混合或静态混合器设计，确保干湿气体充分均匀混合，避免局部湿度偏差。

温度补偿模块：集成高精度PT100温度传感器与PID温控系统，实时监测混合气体温度并修正湿度值（因湿度与温度强相关），保障输出湿度准确性。

4、 检测与反馈系统

在线湿度传感器：通常搭载电容式或冷镜式湿度传感器，实时监测输出气体的相对湿度，数据反馈至控制系统形成闭环调节。

数据记录与接口：支持RS485、以太网通讯，可连接上位机软件实现湿度曲线记录、报警设置及远程控制。

分流法湿度发生器的性能直接取决于其核心组件的精度与协同能力。无论是用于科研实验还是工业质检，选择模块化设计、闭环反馈控制的设备可显著提升测试效率与数据可靠性。