在温度校准和测试领域，双压法湿度发生器和分离法湿度发生器是两种主流技术方案，们基于不同的物理原理，各有其适用的场景与局限性。本文将从原理、性能、成本及应用等多个维度，对二者进行深度对比，为科研、计量及工业领域的专业用户提供选型参考。

一、 技术原理

双压法湿度发生器基于尔顿分压定律，通过精密控制饱和器压力（P₁）与测试室压力（P₂）的比值及温度，实现湿度生成。其流程为：干燥气体在饱和器中充分加湿，经降压膨胀后进入测试腔，最终通过压力比与温度计算得到目标相对湿度。该方法的控制核心在于压力比的精度与温度的稳定性。

双流法湿度发生器采用计量流量控制器（MFC），分别精确控制干燥气体和湿气的流量，按比例混合后直接产生所需湿度。其关键技术在于干湿气流的比例控制和混合均匀性。

二、 优缺点对比分析

双压法湿度发生器

优点：

高精度与国际溯源性：不确定度可低于±0.5%RH，满足国家军用标准的严格要求，被国际公认为湿度校准的“黄金标准”。

宽量程适应能力：单设备即可覆盖从极低露点（-95℃）至高湿度（接近100%RH）的全范围，尤其适用于半导体洁净室、气象观测等严苛环境。

长期稳定性：无吸附材料老化问题，校准周期可达12个月，适合作为标准传递装置。

纯物理原理，无污染风险：基于热力学相平衡，避免化学污染，适用于高纯度气体环境。

缺点：

结构复杂、成本高昂：需配备精密压力调节阀、多级饱和器及高精度PID温控系统，设备体积大，价格昂贵。

操作门槛高：需严格控制压力比与温度，对操作人员专业能力要求较高。

动态响应较慢：尽管部分先进型号可在1分钟内实现湿度阶跃稳定，但仍逊于分流法的响应速度。

分流法湿度发生器

优点：

快速响应与高灵活性：通过流量控制器实时调节混合比例，湿度切换迅速，最大流量可达50 L/min，适用于动态测试与材料研究。

结构简单、易于维护：无需复杂的压力控制系统，核心部件为流量控制器与混合模块，维护成本低。

宽范围覆盖能力：理论上可实现0-100% RH全范围生成，尤其在低湿度环境下表现优异。

智能化程度高：现代型号多集成PLC触摸屏，支持曲线监控与自动化操作，用户体验更佳。

缺点：

精度受限于流量控制：虽标称精度可达±0.5% RH（在≤60% RH条件下），但在高湿或极端条件下精度易受影响。

对气源稳定性依赖强：若压缩空气含水量波动或气源不稳定，将直接影响输出湿度的可靠性。

不适用 于计量级应用：不确定度较高，难以满足国家一级标准传递或高等级计量溯源需求。

三、 典型应用

双压法优先用于对精度和溯源性要求极高的场景，如：

• 计量院所、第三方检测机构的露点仪、湿度传感器检定；

• 半导体制造洁净室湿度监测系统溯源；

• 军工、航天装备环境试验与校准。

分流法更适用于强调响应速度、流量与灵活性的场景，如：

• 材料老化测试、燃料电池性能评估；

• 工业现场在线校准与快速调试；

• 实验室研发过程中需频繁切换湿度的动态试验。

四、 选型需求

若追求最高精度、长期稳定性与计量溯源性，且预算充足，操作条件可控，应选择双压法湿度发生器。

若需快速响应、大流量输出或频繁调节湿度，且处于工业现场或研发环境，分流法湿度发生器是更经济、高效的选择。

两种技术并无绝对优劣之分，用户应根据实际应用需求、精度等级、预算及操作环境等因素综合权衡，选择最适合的湿度发生方案。