新闻动态_亿科过程控制技术（苏州）有限公司

水汽发生器的核心原理是通过能量传递将液态水转化为汽态水蒸气，其核心逻辑是利用加热（或其他能量输入）打破水分子间的束缚，将水从液态变为汽态，从而产生可利用的水蒸气

VODM（Vapor on Demand Module）水蒸气发生器是半导体制造中用于干法去胶和薄膜沉积的核心设备。它的核心价值在于能够按需、精确、纯净地产生高

水蒸气发生器与热重分析仪（TGA）联用是一种强大的技术组合，用于研究材料在受控水蒸气气氛下的热分解行为、反应动力学、氧化/还原行为、吸湿性、水合/脱水过程等。其

湿度发生器与热重分析仪（TGA）联用，是一种在可控湿度环境下研究样品质量随温度（或时间）变化的联用技术，其核心是通过湿度发生器为热重分析提供稳定、可调节的湿度分

随着半导体工艺进入纳米级时代，环境湿度控制已从辅助工序跃升为决定芯片良率的核心工艺。在这一背景下，ppb级微水发生器凭借其极限精度，正成为高端芯片制造的“隐形守

亿科过程控制技术（苏州）有限公司宣布其自主研发的 “一种车载式自热制氢燃烧器” 正式获得国家知识产权局授权（专利号：CN218721457U）。该专利攻克了传统

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